高精度测量用于大型、精密设备的精确定位和变形观测等的测量工作。高精度测量的精度要求很高，例如安装通信卫星地面接收天线反射面，定位精度要求为 ±1毫米；一些自动作业线和高速运行装置的导轨安装精度要求为±0.1毫米；有些重要工程的测量工作,往往要求以当代测量技术能达到的最高精度进行。